コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用スパッタリング装置
研究開発用スパッタリング装置
神港精機株式会社
化合物半導体の電極膜アニール装置
化合物半導体用電極膜アニール装置
クリーンな真空中で均一加熱する縦型真空アニール装置。
縦型真空アニール装置
高品位な薄膜・基板表面の実現に最適な水素アニール装置
水素アニール装置
300mmウェハ対応ポリイミドキュア装置で先端電子デバイスの熱処理を実現
ポリイミドキュア装置
メージレスな製品概要を提供する高性能アッシング装置
ＳＷＰアッシング装置
ダメージレス・ハイスループット・多用途対応の枚葉式プラズマアッシング装置
ＳＷＰシリーズ
水素プラズマクリーニング装置
水素プラズマクリーニング装置（イオンクリーニングタイプ）
先端光デバイスに最適な蒸着装置
化合物半導体用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１６５０ＳＰＢ型）
最新の真空はんだ付け装置をご紹介！
真空はんだ付け装置
大型蒸着装置で高速成膜を実現
大型蒸着装置
高密度プラズマCVD装置「PIG式 DLC膜形成装置」は、優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現
ＡＡＰＩＧ－１６１１０ＤＳ
高密度プラズマエッチング装置で金属膜の微細パターンを実現する。
ICPメタルエッチング装置
大型プラズマクリーナー、自動化量産ラインに最適な表面処理装置
大型プラズマクリーナー
高性能な巻取式スパッタリング装置
SDR型巻取式スパッタリング装置
急速昇降温が特徴の小型熱処理装置
真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）
多機能型プラズマクリーニング装置
POEM
東京都中央区日本橋室町4-2-16楠和日本橋ビル2F
