「SDR型巻取式スパッタリング装置」は、フィルム・金属箔など幅広い基板に成膜するための加工機械です。フレキシブルデバイスや先端機能材料の開発から量産まで、様々な要求に対応可能。高使用率カソードや安定した搬送機構を備え、プラズマ前処理電極や磁性材用カソード、基板加熱用メインロールなどのオプション機構も揃っています。様々な用途に柔軟に対応できる多目的なフィルム連続処理装置として、研究開発またはシート対応のバッチ型装置として使用可能です。
「SDR型巻取式スパッタリング装置」は、フィルム・金属箔など幅広い基板に成膜するための加工機械です。フレキシブルデバイスや先端機能材料の開発から量産まで、様々な要求に対応可能。高使用率カソードや安定した搬送機構を備え、プラズマ前処理電極や磁性材用カソード、基板加熱用メインロールなどのオプション機構も揃っています。様々な用途に柔軟に対応できる多目的なフィルム連続処理装置として、研究開発またはシート対応のバッチ型装置として使用可能です。
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