神港精機株式会社の真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）は、急速な昇降温が特徴の小型装置です。有機基板の乾燥、脱ガス、ベーキングなどの低温熱処理に最適であり、高速熱処理が可能な半田付用の熱板加熱を応用しています。高密度実装基板、プリント基板の成膜前の脱ガスや乾燥、セラミックス材料の乾燥など、多くの用途で利用可能。また、太陽電池セルの低温ベークや薄膜のアニールにも効果的で、インライン化にも対応しています。詳細は公式ウェブサイトでお問い合わせください。