研究開発用スパッタリング装置の製造・加工機械を提供している企業です。この装置はコンパクトでありながら、高い性能と充実した機能を備えており、少量生産にも対応することができます。また、手動操作型の簡易実験機としての高速排気と高いプロセス性能により、MEMS、化合物半導体、電子デバイスの基礎研究にも対応可能。バッチタイプのスパッタリング装置シリーズでは、電子部品の量産にも対応する実績を持っています。
研究開発用スパッタリング装置の製造・加工機械を提供している企業です。この装置はコンパクトでありながら、高い性能と充実した機能を備えており、少量生産にも対応することができます。また、手動操作型の簡易実験機としての高速排気と高いプロセス性能により、MEMS、化合物半導体、電子デバイスの基礎研究にも対応可能。バッチタイプのスパッタリング装置シリーズでは、電子部品の量産にも対応する実績を持っています。
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