神港精機株式会社は、化合物半導体用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１６５０ＳＰＢ型）を製造しています。この装置は、低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面を実現することができ、超高真空対応のハードが高品質な電極膜を実現します。従来型よりもコンパクトなチャンバと大口径クライオポンプを採用しており、クリーンな高真空環境を作り出すことが可能。また、水冷式反射電子トラップ付きの電子銃を使用することで、低ダメージ成膜を実現しています。６連式の電子銃は高融点金属を含む多層膜電極形成に対応しており、安定した蒸着が特徴です。加えて、リフトオフ蒸着にも対応し、貴金属厚膜電極の形成が可能です。