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神港精機株式会社
ポリイミドキュア装置
300mmウェハ対応ポリイミドキュア装置で先端電子デバイスの熱処理を実現
ポリイミドキュア装置
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神港精機株式会社は、製造・加工機械として、半導体製造装置やアニール炉を提供しています。その中でも注目すべきは、300mmウェハ対応のポリイミドキュア装置で、300mmウェハをカセット単位で高均一性熱風加熱による熱処理を行うことができます。真空置換後の低酸素雰囲気(N2)中での処理であり、システムLSIポリイミドキュアやフレキシブルプリント基板キュア・アニールにも対応しています。300mmウェハに対応したキュアリングで高品質化と量産化を両立させることが可能です。

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ポリイミドキュア装置
300mmウェハ対応ポリイミドキュア装置で先端電子デバイスの熱処理を実現
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神港精機株式会社は、製造・加工機械として、半導体製造装置やアニール炉を提供しています。その中でも注目すべきは、300mmウェハ対応のポリイミドキュア装置で、300mmウェハをカセット単位で高均一性熱風加熱による熱処理を行うことができます。真空置換後の低酸素雰囲気(N2)中での処理であり、システムLSIポリイミドキュアやフレキシブルプリント基板キュア・アニールにも対応しています。300mmウェハに対応したキュアリングで高品質化と量産化を両立させることが可能です。

神港精機株式会社
設立年:1949年 資本金:37500万円
マップアイコン 東京都中央区日本橋室町4-2-16楠和日本橋ビル2F
業種 産業用機械

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