神港精機株式会社は、製造・加工機械として、半導体製造装置やアニール炉を提供しています。その中でも注目すべきは、300mmウェハ対応のポリイミドキュア装置で、300mmウェハをカセット単位で高均一性熱風加熱による熱処理を行うことができます。真空置換後の低酸素雰囲気(N2)中での処理であり、システムLSIポリイミドキュアやフレキシブルプリント基板キュア・アニールにも対応しています。300mmウェハに対応したキュアリングで高品質化と量産化を両立させることが可能です。
神港精機株式会社は、製造・加工機械として、半導体製造装置やアニール炉を提供しています。その中でも注目すべきは、300mmウェハ対応のポリイミドキュア装置で、300mmウェハをカセット単位で高均一性熱風加熱による熱処理を行うことができます。真空置換後の低酸素雰囲気(N2)中での処理であり、システムLSIポリイミドキュアやフレキシブルプリント基板キュア・アニールにも対応しています。300mmウェハに対応したキュアリングで高品質化と量産化を両立させることが可能です。
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