神港精機株式会社のプラズマクリーニング装置「POEM」は、半導体製造装置のチャンバをシンプル化・低コスト化し、プラズマクリーニングに応用した製品です。プラズマモード切替機構やマルチガスプロセスにより、従来にない表面処理を実現しています。基板洗浄や親水性処理、撥水性処理など、さまざまな処理を行うことが可能。ハイエンド製品の量産ラインでも実績があり、基板やライン形態に合わせて様々なタイプが用意されています。