神港精機株式会社の枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）は、ダメージレスアッシングとハイスループットを実現しています。表面波プラズマ（ＳＷＰ）と２室装備されたアッシング室により、ダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングと高速アッシングを両立しています。また、特殊レジストや有機膜の除去、硬化レジストの除去などにも対応しており、幅広い用途に対応しています。さらに、コンパクトな設置寸法と特殊基板にも対応できることが特長です。