製品概要
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神港精機株式会社
製品概要当社の縦型真空アニール装置は、クリーンな真空環境で均一に加熱できる優れた性能を持っています。最大８インチ相当のウェハや各種基板に対応しており、ウェハプロセスに最適です。中温から高温まで安定した温度分布性能を提供し、急冷機構により短い処理時間での実現します。さらに、真空以外にも不活性、酸化、還元など、様々な雰囲気処理も可能な多機能型の熱処理装置です。
神港精機株式会社
当社の縦型真空アニール装置は、クリーンな真空環境で均一に加熱できる優れた性能を持っています。最大８インチ相当のウェハや各種基板に対応しており、ウェハプロセスに最適です。中温から高温まで安定した温度分布性能を提供し、急冷機構により短い処理時間での実現します。さらに、真空以外にも不活性、酸化、還元など、様々な雰囲気処理も可能な多機能型の熱処理装置です。
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