神港精機株式会社は、科学・理化学機器の製造メーカーです。同社の製品の一つである量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）は、自動化量産ラインに対応しています。インラインタイプ、枚葉タイプなど、様々なタイプの製品があり、柔軟なハード構成を持っています。この装置は、先端薄膜デバイスの製造においても実績があり、高いクリーニング効果を各種基板で実現しています。クリーニング、ディスカム、アッシング、親水処理、撥水膜処理など、様々な用途にも対応。基板実装から素材表面処理まで幅広い分野で活躍する大型プラズマ装置です。