エッチング装置の製品一覧

日星産業株式会社は、製造・加工機械の中でも特に半導体製造装置に力を入れています。同社のICPエッチング装置は、ヨーロッパ発の技術を活かした汎用性の高い装置です。シリコンや金属、化合物半導体など、さまざまな材料に対応可能。さらに、幅広い温度の工程にも対応可能で、エッチングの速度と均一性を精密に制御することができます。さらに、BOSOH工程にも対応しています。また、HEMT工程に特化したPishow Aや、SiやSiCの深掘りに対応したPishow Dなど、さまざまなモデルがあります。

『ICPメタルエッチング装置』は、最新のプラズマエッチング技術を利用して、Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応している装置です。独自のチャンバ内構造により、nmレベルのメタル膜の精密エッチング・高い歩留り・稼働率を実現しています。半導体やMEMSデバイスだけでなく、露光用マスクや金属基板の表面処理などの特殊プロセスにも対応。幅広い用途に対応するための特殊材料や形状基板への積極的な対応も行っています。

製造・加工機械の中でも特に半導体製造装置の分野で高い評価を得ている日星産業株式会社の主力製品は、ドライエッチング装置です。MRAM用途に特化しており、高い性能と信頼性を提供しています。反応性イオンエッチング装置(RIE)、誘導結合プラズマ (ICP)エッチング装置、イオンビームエッチング装置(IBE)など幅広いラインナップを取り揃えております。

導電性フッ素樹脂コーティングKPEシリーズは、フッ素樹脂に導電性をプラスした静電気防止コーティングです。帯電を防ぎ、半導体やプラントなどで広く採用されています。耐薬品性や非粘着性も備えており、防爆仕様です。

ウェハーレベルＣＳＰや精密電子部品をはじめとするあらゆる分野で使用される高品質なウエットエッチング剤です。銅再配線工程や素子電極形成にも適しており、各種金属膜のエッチング液も取り揃えています。

半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験に最適なPACEシリーズを提供しています。このシリーズは高精度・長期安定性・高速反応性の特長を持ち、他社製品と比べて最大5.5倍の圧力制御スピードを実現しています。また、装置の気体・液体の流量計測や品質管理にも活用可能であり、さらには最大5チャンネルの圧力を同時表示できるPACE1000圧力インジケータも提供しています。

材質はA5052（アルミ）で、半導体製造装置や半導体装置などの業界で使用される部品です。表面処理は行っておらず、個数は50個以上のご依頼が可能です。納期は1週間程度で、コストダウンにも対応。

株式会社ADEKAの製品である回路形成材料「アデカベアックシステム」は、自動管理装置「アデカベアック装置」を用いて、エッチング液を常時分析し、必要量の特殊エッチング液と再生剤及び水を自動補給します。これにより、微細パターンの安定製造、不良率の低減、生産性の向上など、多くの効果を生み出します。

従来のフッ素樹脂に導電性をプラスした「KPEシリーズ」は、非粘着性や耐薬品性を向上させるだけでなく、防爆仕様や帯電防止の機能も備えており、半導体関係やプラントなどで幅広く採用されています。お客様の用途に合わせて最適な商品をご提案します。 ＜こんなお困りな方におすすめ＞ ・摩擦による帯電が発生し、発火が心配な方 ・絶縁体は嫌だけど、耐食性や耐熱性は必要な方 ・静電気によるホコリの付着が気になる方

プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社の『Corial 200 Series』は、用途に応じたコンフィギュレーションが可能なプラズマエッチング・成膜装置です。共通プラットフォームを活用し、RIE、ICP、ICP+RIE、ICP-CVD、PECVDなど、さまざまな機能を組み合わせて研究開発に最適な装置を提供します。さらに、ウエハサイズは50mm、100mm、150mm、200mmに対応。

伯東株式会社は製造・加工機械の開発や半導体製造装置の製造を手掛けています。特に、Ion Beam Delayering装置を用いた半導体物理解析に注力しており、半導体故障解析やリバースエンジニアリングにおいて、迅速かつ費用対効果の高い解析結果を提供。広い面積にわたる均一性と最小限のダメージを実現し、複数のイオンビームエッチング技術を使って異なる材料のエッチングレートを一致させることができます。さらに、化学組成に関係なく層全体を均一に除去することも可能です。

ヤマトマテリアル株式会社は、製造・加工機械分野で評価の高い半導体製造装置やエッチング装置を製造しています。その中でも特に注目されているのが、プラズマクリーナーです。当社のプラズマクリーナーは、卓上型で低コストながら高性能を実現しており、実験用から本格量産まで幅広い用途で使用することができます。標準油回転ポンプ付標準機を基に、お客様のご要求に合わせてカスタマイズも可能です。さらに、様々なチャンバー構造を取り揃えており、石英バレル、平行平板、ロードロックタイプなどの選択肢があるのが特長。また、大気圧プラズマも取り扱っています。

エッチング装置に注力し、ウェットエッチングによるコストダウンに配慮した仕様をご提案しています。低コストと高生産性を実現するため様々な搬送に対応しており、追加機構やカスタマイズも可能です。手動酸・アルカリエッチング装置、RCA洗浄装置など、幅広い製品ラインナップを取り揃えています。お気軽にお問い合わせください。

エージェンシーアシストは、半導体メーカーや電子機器メーカー向けに、特殊形状の加工品を製作しています。SKD11を使用した製品は、複雑形状や超小ロットの要望にも対応可能です。お問い合わせいただければ、開発・試作部品の単品加工をお手伝いします。プラスチックから金属部品まで幅広い製品の加工を一括手配します。

プラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』は、ALEキットを搭載し、表面の単原子層毎にエッチングすることが可能。エッチング対象物へのダメージを抑え、高品質なエッチング処理が行えます。

枚葉式プラズマエッチング処理装置は、さまざまな材料のエッチングやアッシング処理に利用されます。ポリイミド系樹脂や窒化膜のエッチングからフォトレジストのアッシングまで幅広い用途に対応しています。DPモードとRIEモードを切り替えることができ、ウエハサイズは6インチと8インチに対応しています。高周波プラズマを使用することで、高い性能を発揮。