神港精機株式会社が提供する水素プラズマクリーニング装置は、従来のものに加えて水素プラズマによる還元洗浄機能を実現。表面酸化層の除去能力が向上し、基板の親水性も大きく向上。さらに複合クリーニングや2段階ステップクリーニングなどの新たな機能も搭載。より高効率なプラズマクリーニングが可能です。小規模から本格的な量産ラインまで対応しています。
神港精機株式会社が提供する水素プラズマクリーニング装置は、従来のものに加えて水素プラズマによる還元洗浄機能を実現。表面酸化層の除去能力が向上し、基板の親水性も大きく向上。さらに複合クリーニングや2段階ステップクリーニングなどの新たな機能も搭載。より高効率なプラズマクリーニングが可能です。小規模から本格的な量産ラインまで対応しています。
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