酸化膜/窒化膜プラズマCVD装置
ジャパンクリエイト株式会社
半導体製造に特化した省スペースの卓上型スピンコーター
卓上型スピンコーター
高精度で高スループットのフルオートスピンナー
JASC-150型
有機EL用蒸着装置"、デバイス開発や材料開発に最適なマルチチャンバ仕様の製品です.
有機EL用蒸着装置
"高真空プロセスに対応したロードロック式EB蒸着装置"
ロードロック式EB蒸着装置
高速・安定な連続成膜!圧電膜形成スパッタリング装置
High-Rate Depo
高性能な自動レジスト塗布現像装置
『自動レジスト塗布現像装置』
高精度のウエハレジスト塗布装置
自動ウエハレジスト塗布装置
高温加圧装置で基板表面加熱プロセスを実現!
加圧RTA装置