製品概要
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ジャパンクリエイト株式会社
製品概要枚葉式の自動ウエハレジスト塗布装置です。高性能なポンプを使用し、精密な塗布を行います。ウエハの搬送は多関節ロボットにより自動化されており、2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板に対応します。
ジャパンクリエイト株式会社
枚葉式の自動ウエハレジスト塗布装置です。高性能なポンプを使用し、精密な塗布を行います。ウエハの搬送は多関節ロボットにより自動化されており、2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板に対応します。
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埼玉県所沢市林1丁目203番地4
