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ジャパンクリエイト株式会社
有機EL用蒸着装置
有機EL用蒸着装置"、デバイス開発や材料開発に最適なマルチチャンバ仕様の製品です.
有機EL用蒸着装置
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ネジアイコン製品概要

デバイス開発や材料開発に適した装置です。基板サイズは最大300mmに対応し、プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室など、目的に応じて自由に選択できます。大気に触れずに処理ができ、前処理から成膜、封止までの工程をカバー。さらに、蒸着セルは各種材料・サイズから選択可能であり、CVD室やスパッタ室との組み合わせも可能です。カスタムオーダーメイドも対応します。

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有機EL用蒸着装置
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有機EL用蒸着装置"、デバイス開発や材料開発に最適なマルチチャンバ仕様の製品です.
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デバイス開発や材料開発に適した装置です。基板サイズは最大300mmに対応し、プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室など、目的に応じて自由に選択できます。大気に触れずに処理ができ、前処理から成膜、封止までの工程をカバー。さらに、蒸着セルは各種材料・サイズから選択可能であり、CVD室やスパッタ室との組み合わせも可能です。カスタムオーダーメイドも対応します。

ジャパンクリエイト株式会社
マップアイコン 埼玉県所沢市林1丁目203番地4
業種 試験・分析・測定

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