製品概要
企業情報
ジャパンクリエイト株式会社
製品概要『ロードロック式EB蒸着装置』は、基板回転による優れた膜厚分布および再現性を実現しています。ロードロック式による高真空プロセスをはじめ、リフトオフプロセスや、トレイ搬送にも対応。最高900℃の高温プロセスが可能で、チャンバのメンテナンスが容易です。パーティクル低減による表面処理を実現し、高品質な製品作りに貢献します。
ジャパンクリエイト株式会社
『ロードロック式EB蒸着装置』は、基板回転による優れた膜厚分布および再現性を実現しています。ロードロック式による高真空プロセスをはじめ、リフトオフプロセスや、トレイ搬送にも対応。最高900℃の高温プロセスが可能で、チャンバのメンテナンスが容易です。パーティクル低減による表面処理を実現し、高品質な製品作りに貢献します。
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