枚葉式ウエハ処理装置の中でも特に高性能な『自動レジスト塗布現像装置』を提供しています。この装置は、高精度の塗布を実現するために粘度に応じた高性能ポンプを使用し、ウエハの搬送には3軸多関節クリーンロボットを採用。また、現像液の温度を一定に保つ電子冷熱器を使用することで、高精度な現像処理を実現しています。この装置は2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板に対応していて、ローダーやアンローダーカセットも自動で処理します。