CVD装置 （19） スパッタリング装置 （15） アニール炉 （12） コーター （12） レジスト装置 （16） 酸化/拡散装置 （） ステッパー （14） エッチング装置 （16） イオン注入装置 （6） アッシング装置 （5） 蒸着装置 （10） 電子ビーム描画装置 （12） テスタ （13） 半導体検査/試験装置 （） ウエハ加工/研磨装置 （） モールディング装置 （6） ボンディング装置 （15） ＣＭＰ装置 （10） フォトマスク （12） その他半導体製造装置 （18）