オプトシリウス株式会社の製造・加工機械、半導体製造装置に関しては、AQM社のH-SiOxというネガ型レジストが利用されています。このレジストは粉体と溶液の2種類が提供可能で、それぞれに特徴があります。粉体の場合は1年間保存可能であり、即納対応で常時同じ粘度で使用することができます。また、液体の場合は少量から購入が可能であり、受注後1カ月以内での納品も可能です。どちらのタイプも最高レベルの線幅を実現しております。