株式会社エイ・エス・エイ・ピイの1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置は、厚膜現像や処理時間の短縮に効果を発揮する装置です。スプレー形状や圧力、流量などを自由に選択でき、現像スピードを早めることができます。特に、大型基板や厚膜の現像に最適で、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載しています。また、自動ウエハサイズ認識機能やフットプリントの低減などの特長もあります。デモ設備もありますので、ぜひご検討ください。