株式会社ダルトンは、自動酸・アルカリ洗浄装置の製造・加工機械を提供しています。ウエハーの均一なエッチングを実現し、対応ワークサイズ φ2～12インチのウエハー洗浄をおこないます。角型基板などの特殊サイズにも対応可能で、2流体混合ノズルを使用した直接の洗浄処理を実現。さらに、混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温可能です。さまざまなオプションもあり、ブラシ洗浄機能の付いた装置やフォトマスク洗浄装置の製作、オゾン水洗浄やナノバブル洗浄も可能。製品のテストは、東京テストセンターで実施できます。