高温ベーク対応レジスト塗布装置
株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
高品質な自動レジスト塗布装置
ベルト搬送式自動レジスト塗布装置
自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置(フルオートリソグラフィ)
フルオートリソグラフィ
2サイズ兼用の自動レジストコーター・デベロッパー
自動レジストコーター・デベロッパー
柔軟な現像装置
1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置
セミオートデベロッパー プロセス再現性
半自動フォトレジスト現像装置(セミオートデベロッパー)
高圧から柔らかい霧まで自在に調整可能!2流体スプレーレジスト現像装置
デベロッパー
高再現性・低コスト!静止現像式自動フォトレジスト現像装置
静止現像式自動フォトレジスト現像装置
枚葉式でDIP並みの膨潤・高圧ジェット併用リフトオフ装置!
膨潤・高圧ジェット併用リフトオフ装置