製品概要
企業情報
株式会社リバティー
製品概要枚葉式プラズマエッチング処理装置は、さまざまな材料のエッチングやアッシング処理に利用されます。ポリイミド系樹脂や窒化膜のエッチングからフォトレジストのアッシングまで幅広い用途に対応しています。DPモードとRIEモードを切り替えることができ、ウエハサイズは6インチと8インチに対応しています。高周波プラズマを使用することで、高い性能を発揮。
株式会社リバティー
枚葉式プラズマエッチング処理装置は、さまざまな材料のエッチングやアッシング処理に利用されます。ポリイミド系樹脂や窒化膜のエッチングからフォトレジストのアッシングまで幅広い用途に対応しています。DPモードとRIEモードを切り替えることができ、ウエハサイズは6インチと8インチに対応しています。高周波プラズマを使用することで、高い性能を発揮。
fabiz(ファビズ)はものづくり産業に特化した情報比較サイトです。 情報をご登録いただくと、製品を探している技術者や担当者に製品の魅力を伝えることができます。 製品を見つけたいと思っている技術者や担当者に、製品の強みや最新情報を伝えてみませんか？ また、製品の情報に誤りがある場合や古い場合にも修正させていただきますのでお気軽にお問い合わせください。
埼玉県入間市久保稲荷4-6-4-203
