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株式会社リバティー
枚葉式プラズマエッチャー
高性能な枚葉式プラズマエッチャー
枚葉式プラズマエッチャー
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枚葉式プラズマエッチング処理装置は、さまざまな材料のエッチングやアッシング処理に利用されます。ポリイミド系樹脂や窒化膜のエッチングからフォトレジストのアッシングまで幅広い用途に対応しています。DPモードとRIEモードを切り替えることができ、ウエハサイズは6インチと8インチに対応しています。高周波プラズマを使用することで、高い性能を発揮。

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枚葉式プラズマエッチング処理装置は、さまざまな材料のエッチングやアッシング処理に利用されます。ポリイミド系樹脂や窒化膜のエッチングからフォトレジストのアッシングまで幅広い用途に対応しています。DPモードとRIEモードを切り替えることができ、ウエハサイズは6インチと8インチに対応しています。高周波プラズマを使用することで、高い性能を発揮。

株式会社リバティー
設立年:2002年 資本金:1500万円
マップアイコン 埼玉県入間市久保稲荷4-6-4-203
業種 商社・卸売り

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