ヤマトマテリアル株式会社は、製造・加工機械分野で評価の高い半導体製造装置やエッチング装置を製造しています。その中でも特に注目されているのが、プラズマクリーナーです。当社のプラズマクリーナーは、卓上型で低コストながら高性能を実現しており、実験用から本格量産まで幅広い用途で使用することができます。標準油回転ポンプ付標準機を基に、お客様のご要求に合わせてカスタマイズも可能です。さらに、様々なチャンバー構造を取り揃えており、石英バレル、平行平板、ロードロックタイプなどの選択肢があるのが特長。また、大気圧プラズマも取り扱っています。