製品概要
企業情報
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
製品概要プラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』は、ALEキットを搭載し、表面の単原子層毎にエッチングすることが可能。エッチング対象物へのダメージを抑え、高品質なエッチング処理が行えます。
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
プラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』は、ALEキットを搭載し、表面の単原子層毎にエッチングすることが可能。エッチング対象物へのダメージを抑え、高品質なエッチング処理が行えます。
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