製品概要
企業情報
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
製品概要プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社の『Corial 200 Series』は、用途に応じたコンフィギュレーションが可能なプラズマエッチング・成膜装置です。共通プラットフォームを活用し、RIE、ICP、ICP+RIE、ICP-CVD、PECVDなど、さまざまな機能を組み合わせて研究開発に最適な装置を提供します。さらに、ウエハサイズは50mm、100mm、150mm、200mmに対応。
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社の『Corial 200 Series』は、用途に応じたコンフィギュレーションが可能なプラズマエッチング・成膜装置です。共通プラットフォームを活用し、RIE、ICP、ICP+RIE、ICP-CVD、PECVDなど、さまざまな機能を組み合わせて研究開発に最適な装置を提供します。さらに、ウエハサイズは50mm、100mm、150mm、200mmに対応。
fabiz(ファビズ)はものづくり産業に特化した情報比較サイトです。 情報をご登録いただくと、製品を探している技術者や担当者に製品の魅力を伝えることができます。 製品を見つけたいと思っている技術者や担当者に、製品の強みや最新情報を伝えてみませんか？ また、製品の情報に誤りがある場合や古い場合にも修正させていただきますのでお気軽にお問い合わせください。
神奈川県横浜市西区みなとみらい4丁目4番2号横浜ブルーアベニュー12階
