製品概要
企業情報
日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社
製品概要半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験に最適なPACEシリーズを提供しています。このシリーズは高精度・長期安定性・高速反応性の特長を持ち、他社製品と比べて最大5.5倍の圧力制御スピードを実現しています。また、装置の気体・液体の流量計測や品質管理にも活用可能であり、さらには最大5チャンネルの圧力を同時表示できるPACE1000圧力インジケータも提供しています。
日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社
半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験に最適なPACEシリーズを提供しています。このシリーズは高精度・長期安定性・高速反応性の特長を持ち、他社製品と比べて最大5.5倍の圧力制御スピードを実現しています。また、装置の気体・液体の流量計測や品質管理にも活用可能であり、さらには最大5チャンネルの圧力を同時表示できるPACE1000圧力インジケータも提供しています。
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