日星産業株式会社は、製造・加工機械の中でも特に半導体製造装置に力を入れています。同社のICPエッチング装置は、ヨーロッパ発の技術を活かした汎用性の高い装置です。シリコンや金属、化合物半導体など、さまざまな材料に対応可能。さらに、幅広い温度の工程にも対応可能で、エッチングの速度と均一性を精密に制御することができます。さらに、BOSOH工程にも対応しています。また、HEMT工程に特化したPishow Aや、SiやSiCの深掘りに対応したPishow Dなど、さまざまなモデルがあります。