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株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
高温ベーク対応レジスト塗布装置
高温ベーク対応レジスト塗布装置
高温ベーク対応レジスト塗布装置
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ネジアイコン製品概要

株式会社エイ・エス・エイ・ピイの製品は、高温ベーク対応の自動レジスト塗布装置です。BARCや他の薬液をスピン塗布後、最大400℃の高温でベークが可能で、スピンコーティング、HMDS処理、低温ベークと高温ベークの組み合わせを搭載しており、ポジレジストやネガレジスト、ポリイミド、シリコーンなど多くの薬液に対応。さらに、多数の基板搬送実績もあり、製品の特長としては、手頃な価格、ウェハサイズ自動検知機能、多彩な薬液への対応、省スペース化などがあります。

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製品概要

株式会社エイ・エス・エイ・ピイの製品は、高温ベーク対応の自動レジスト塗布装置です。BARCや他の薬液をスピン塗布後、最大400℃の高温でベークが可能で、スピンコーティング、HMDS処理、低温ベークと高温ベークの組み合わせを搭載しており、ポジレジストやネガレジスト、ポリイミド、シリコーンなど多くの薬液に対応。さらに、多数の基板搬送実績もあり、製品の特長としては、手頃な価格、ウェハサイズ自動検知機能、多彩な薬液への対応、省スペース化などがあります。

株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
設立年:1999年 資本金:4000万円
マップアイコン 埼玉県さいたま市西区三条町27-1
業種 電子部品・半導体

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