株式会社エイ・エス・エイ・ピイは、ベルト搬送式の自動レジスト塗布装置(コーター)を提供しています。この装置は高スループットでありながら、反りウェハの搬送も可能です。低価格を実現しながらも、自動ウェハサイズ認識システムや多彩な薬液に実績があります。また、ロボットを使わずに大量処理が可能なため、量産向けにも適しています。製品はスピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載しており、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなどの幅広い薬液に対応しています。
株式会社エイ・エス・エイ・ピイは、ベルト搬送式の自動レジスト塗布装置(コーター)を提供しています。この装置は高スループットでありながら、反りウェハの搬送も可能です。低価格を実現しながらも、自動ウェハサイズ認識システムや多彩な薬液に実績があります。また、ロボットを使わずに大量処理が可能なため、量産向けにも適しています。製品はスピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載しており、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなどの幅広い薬液に対応しています。
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