製品概要
企業情報
株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
製品概要当製品は、2サイズのウエハに対応可能な自動レジストコーター・デベロッパーです。低価格ながら低～高粘度の薬液に対応し、2～12インチのウエハサイズを自動認識します。さらにフットプリントを低減することで省スペース化を実現しており、多数の薬液にも実績があります。柔軟性と効率性においては、製造・加工機械の中でも特に優れています。
株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
当製品は、2サイズのウエハに対応可能な自動レジストコーター・デベロッパーです。低価格ながら低～高粘度の薬液に対応し、2～12インチのウエハサイズを自動認識します。さらにフットプリントを低減することで省スペース化を実現しており、多数の薬液にも実績があります。柔軟性と効率性においては、製造・加工機械の中でも特に優れています。
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