製品概要
企業情報
株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
製品概要当社のフルオートリソグラフィは、レジスト塗布から露光、現像処理までを一気通貫で自動化する装置です。スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行い、HMDS処理やベーク、クーリング機能も搭載可能です。ポジ・ネガレジストやポリイミドなど、多彩な薬液に対応しており、SiやGaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2などの基板搬送にも実績があります。オートアライメント機能も搭載すれば、低価格で低～高粘度のレジストに対応できます。
株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
当社のフルオートリソグラフィは、レジスト塗布から露光、現像処理までを一気通貫で自動化する装置です。スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行い、HMDS処理やベーク、クーリング機能も搭載可能です。ポジ・ネガレジストやポリイミドなど、多彩な薬液に対応しており、SiやGaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2などの基板搬送にも実績があります。オートアライメント機能も搭載すれば、低価格で低～高粘度のレジストに対応できます。
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