最大5個のターゲットを搭載!イオンビームスパッタ装置『scia Coat 200/500』
scia Coat 200/500
株式会社ハイテック・システムズ
"金属や有機膜成膜に特化したEVADシリーズの熱蒸着装置"
EVAD シリーズ
大型基板向けRTP装置 AS-Master 200
AS-Master 200
高温でのCVD/PECVDによる処理が可能!「EVADシリーズ」
EVADシリーズ