製品概要
企業情報
株式会社ハイテック・システムズ
製品概要株式会社ハイテック・システムズは、製造・加工機械や半導体製造装置の開発・販売を手がける企業です。その中でも特に注目されるのが、EVADシリーズと呼ばれる熱蒸着装置。この装置は、電子ビームや各種抵抗加熱を使用して金属、誘電、有機膜の成膜を行うことができます。PID温度制御された低温蒸着セルによる有機分子成膜も可能であり、高品質な成膜を実現しました。
株式会社ハイテック・システムズ
株式会社ハイテック・システムズは、製造・加工機械や半導体製造装置の開発・販売を手がける企業です。その中でも特に注目されるのが、EVADシリーズと呼ばれる熱蒸着装置。この装置は、電子ビームや各種抵抗加熱を使用して金属、誘電、有機膜の成膜を行うことができます。PID温度制御された低温蒸着セルによる有機分子成膜も可能であり、高品質な成膜を実現しました。
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