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株式会社ハイテック・システムズ
AS-Master 200
大型基板向けRTP装置 AS-Master 200
AS-Master 200
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株式会社ハイテック・システムズが開発したRTP装置『AS-Master 200』は、アニール処理後の急速冷却機構を備えています。最大200mm径基板対応で、真空や大気搬送装置、ターボポンプの搭載も可能です。低温(1100℃)/高温(1300℃)のパイロメーターを使用し、大気または真空下のプロセスに対応しています。

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AS-Master 200
大型基板向けRTP装置 AS-Master 200
製品概要

株式会社ハイテック・システムズが開発したRTP装置『AS-Master 200』は、アニール処理後の急速冷却機構を備えています。最大200mm径基板対応で、真空や大気搬送装置、ターボポンプの搭載も可能です。低温(1100℃)/高温(1300℃)のパイロメーターを使用し、大気または真空下のプロセスに対応しています。

株式会社ハイテック・システムズ
設立年:1991年 資本金:10000万円
マップアイコン 神奈川県横浜市港北区新横浜3−19−5新横浜第2センタービル12階
業種 産業用機械

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