製品概要
企業情報
株式会社ハイテック・システムズ
製品概要株式会社ハイテック・システムズが提供する「EVADシリーズ」は、ガス、蒸気、液体や固体原料から合成・成膜可能なCVD、PECVD横型炉装置です。フロー管理システムを搭載し、粉体へも高温での処理が可能となっています。シングルゾーン、マルチゾーンによる温度分布制御に加え、PLASMICON制御システムにより全自動プロセス、データ保存にも対応。ガス、蒸気、液体や固体原料から合成・成膜する幅広い用途に対応し、様々な産業分野での利用が期待されています。詳細はPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
株式会社ハイテック・システムズ
株式会社ハイテック・システムズが提供する「EVADシリーズ」は、ガス、蒸気、液体や固体原料から合成・成膜可能なCVD、PECVD横型炉装置です。フロー管理システムを搭載し、粉体へも高温での処理が可能となっています。シングルゾーン、マルチゾーンによる温度分布制御に加え、PLASMICON制御システムにより全自動プロセス、データ保存にも対応。ガス、蒸気、液体や固体原料から合成・成膜する幅広い用途に対応し、様々な産業分野での利用が期待されています。詳細はPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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