高性能な常圧CVD装置で、シリコン酸化膜を成膜するA200V
A200V
株式会社渡辺商行
小ロット生産向けのバッチ式CVD装置（D501）
D501
ダイヤモンドのような硬さと低摩擦を持つDLCコーティング
DLCコーティング装置
静電対策でレチクル保護、衝撃損傷リスクを抑えるSMIFポッド
SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」
東京都中央区日本橋室町4-2-16楠和日本橋ビル
