日星産業株式会社は製造・加工機械の分野で活躍する企業です。同社の主力製品は半導体製造装置であり、特にCVD装置などの成膜装置に優れた技術を持っています。Pishowシリーズのドライエッチング機種は、シリコンや金属、化合物半導体など多様な材料に対応可能であり、幅広い温度の工程にも対応可能です。また、エッチングの速度と均一性を精密に制御することができ、BOSOH工程にも対応しています。さらに、Shale Cシリーズの成膜機種はICP CVDにより低温条件で緻密な成膜を実現し、漏れ電流を抑える高アスペクト比の穴埋めにも適用可能。これらの製品はヨーロッパ発の技術を取り入れており、実験から量産まで幅広く対応することができる汎用性の高い装置です。