各種真空装置内でのウエハの応力・反り・曲率・異方性などをリアルタイムに、高精度な測定ができます。成長メカニズムの基礎データ収集だけでなく、CVDやMBE、PVDといった真空成膜装置やエッチング、アニーリングといった真空プロセス装置にも対応しています。従来のレーザー反射計測法よりも10倍以上の感度を持ち、100Hzの高速計測、さらに低格子不整合材料や、ウェハの厚膜やパターニングされたウェハも測定が可能です。その他、安定性が高くアライメントフリー測定を実現しており、白色光源の採用により反射率の変化に影響がありません。さらに、他のソフトウェアとデータを共有することもできます。この製品は、曲率測定レンジが0.0008～200,000 Km-1、半径レンジが1,250,000～0.005mです。