MiniLabシリーズは、MiniLab R&D用実験装置シリーズによって、モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能な小型薄膜実験装置です。豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じたコンポーネントと制御モジュールを組み込むことで、コンパクトな装置構成を容易に構築することができます。研究開発から小規模生産まで広範囲に対応し、ハイコストパフォーマンスを実現しています。