先端化合物半導体のエピ成長に最適な機械で、研究開発用から量産機まで幅広い需要に対応します。柔軟性が高く、先端技術を備えており、シングルまたはデュアルチャンバの構成が可能です。
先端化合物半導体のエピ成長に最適な機械で、研究開発用から量産機まで幅広い需要に対応します。柔軟性が高く、先端技術を備えており、シングルまたはデュアルチャンバの構成が可能です。
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