ティー・ケイ・エス株式会社のFHR.Roll.1600-FCCLスパッタリング装置は、FCCL(フレキシブル銅張積層板)製造用の高スループットロール to ロール型スパッタリング装置です。装置構成の自由度が高く、高い温度安定性を備えています。また、適正なシード層形成やオプションでクロームフリーの接着層の形成が可能であり、高剥離強度を実現できるのが特徴。
ティー・ケイ・エス株式会社のFHR.Roll.1600-FCCLスパッタリング装置は、FCCL(フレキシブル銅張積層板)製造用の高スループットロール to ロール型スパッタリング装置です。装置構成の自由度が高く、高い温度安定性を備えています。また、適正なシード層形成やオプションでクロームフリーの接着層の形成が可能であり、高剥離強度を実現できるのが特徴。
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