FHR Star.100-Tetra Coは高機能光学製品向けのコンパクトなスパッタリング装置です。
FHR.Star100-Tetra-Co
ティー・ケイ・エス株式会社
高スループットのスパッタリング装置で、FCCL製造に最適
FHR.Roll.1600-FCCLスパッタリング装置