FHR Star.100-Tetra CoはMEMSや高機能光学製品向けに設計された非常にコンパクトなスパッタリング装置です。3つのスパッタリングソースとプレクリーニングエッチャーが共焦点形状に配置され、ロードロックや搬送チャンバの追加が可能。直径100mmのシャッターを制御し、成膜コントロールやソースと基板の距離制御が可能です。プロセスガスはアルゴン、酸素などに対応しています。