株式会社ダルトンのポーラスシリコン形成装置は、電流密度や使用薬液の調整により、多孔質シリコンウエハーを形成。従来の陽極酸化装置にさらに応用したこの装置は、革新的な技術を活用しています。
株式会社ダルトンのポーラスシリコン形成装置は、電流密度や使用薬液の調整により、多孔質シリコンウエハーを形成。従来の陽極酸化装置にさらに応用したこの装置は、革新的な技術を活用しています。
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