テルモセラ・ジャパン株式会社の【Nanofurnace】BWS-NANOは、小型で高性能な熱CVD装置です。グラフェンやカーボンナノチューブ、ZnOナノワイヤ、SiO2などの絶縁膜など、幅広いアプリケーションに対応しています。基礎研究に最適なコンパクトサイズでありながら、高い性能を持つため、さまざまな製造・加工機械や半導体製造装置に活用することができます。ホットウオール式熱CVD装置として、最適な製品です。