MiniLab-S060は、小型でコンパクトながら、多機能を備えたスパッタリング装置です。60ℓ容積チャンバーには、薄膜モジュールが組込まれ、さまざまな用途に対応できます。Φ2inchカソードを4基搭載し、3元同時成膜などの高度な成膜が可能です。プラズマリレーSWにより、HMI画面から電源分配や配置設定の変更が自在に行えます。さらに、MFCや反応性スパッタリング、RIEエッチングステージ、基板加熱などの機能も搭載しています。抵抗加熱蒸着や有機材料蒸着、EB蒸着、PECVDなどの混在仕様も可能です。