製品概要
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インフィコン株式会社
製品概要Transpector XPR 3+は、半導体やディスプレイ製造プロセスのスパッタ装置専用の質量ガス分析計です。エアリークや炭化水素、ガス純度のモニタに活用可能であり、データ収集速度、作動圧力、保護機能など、業界をリードする先端技術を備えています。さらに、全圧測定、分圧測定、ヘリウムリーク検査などの多様な機能も備えています。
インフィコン株式会社
Transpector XPR 3+は、半導体やディスプレイ製造プロセスのスパッタ装置専用の質量ガス分析計です。エアリークや炭化水素、ガス純度のモニタに活用可能であり、データ収集速度、作動圧力、保護機能など、業界をリードする先端技術を備えています。さらに、全圧測定、分圧測定、ヘリウムリーク検査などの多様な機能も備えています。
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