UV装置『8.6世代(G8.6)』は、紫外線(UV)を利用して基板表面の有機物を除去する装置です。自社製の低圧水銀ランプを使用し、185nmと254nmの波長の紫外線効果により有機性汚れを効果的に取り除くことができます。さらに、6000時間のランプ寿命を保証することで低ランニングコストを実現しています。
UV装置『8.6世代(G8.6)』は、紫外線(UV)を利用して基板表面の有機物を除去する装置です。自社製の低圧水銀ランプを使用し、185nmと254nmの波長の紫外線効果により有機性汚れを効果的に取り除くことができます。さらに、6000時間のランプ寿命を保証することで低ランニングコストを実現しています。
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