SMIF ポッド(SMIF POD) (マルチ／シングルタイプ)は、半導体前工程のリソグラフィー工程でレチクルを保護するために使用されます。静電対策を徹底し、レチクルの磨耗や機械的衝撃による損傷のリスクを最小限に抑える独自の機構を備えています。剛性と耐久性が強化された金属製のポッドで、低発塵かつ洗浄しやすいライナーレス設計です。また、大手露光装置メーカーにより認可されており、超音波洗浄や純水洗浄装置にも適合しています。温風ノズルや放射式真空乾燥オーブンにも対応しており、使用時温度は18℃〜30℃で、乾燥時の最高温度は60℃（均一）です。国内外のデバイスメーカーによっても採用実績があります。